Tough Plasma

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FPB 20 / FPC 20 / FPA 10

Tough Plasma的特征

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Tough Plasma的规格

■ 产品规格
型号 FPB20 FPC20 FPA10
类型 N2标准类型 N2高功率类型 Ar类型
照射宽度(※1) (mm) 20 20 12
Process气体 种类 N2+Air N2+Air Ar+O2
流量 (L/mm) 5 5 2.5
电源 (V) AC100(50Hz/60Hz) AC100(50Hz)/AC100(60Hz) AC100(50Hz)/AC100(60Hz)
消耗电力 (W) 200 335 335
尺寸 工作头 (mm) W60×H150×D50 W69×H195.7×D63.8 W69×H195.7×D46
控制器 (mm) W215.2×H178.6×D380.2 W23×H295×D385 W230×H295×D385
重量 工作头 (※2) (kg) 0.5 1.0 1.0
控制器 (kg) 11.5 22 22
驱动电源 (kg) 1.5
(※1)根据处理条件,等离子的有效照射宽度不同。
(※2)不含线缆的重量。

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评估试验

可以通过一系列的设备为客户作工件评估。



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